半導(dǎo)體廢氣處理的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
半導(dǎo)體行業(yè)中采用的清潔劑、顯影劑、光刻技術(shù)、蝕刻液等有機(jī)溶劑中富含大量的有機(jī)化合物成份,在加工工藝流程中,這種有機(jī)溶液絕大多數(shù)根據(jù)蒸發(fā)變成廢氣排出。其廢氣的行為主體是VOCs,與此同時(shí)廢氣中還混和了HCl、氨、HF等風(fēng)險(xiǎn)污染物質(zhì),分離出來(lái)和解決難度系數(shù)非常大。下邊我們?yōu)槟敿?xì)介紹半導(dǎo)體廢氣處理方式